%0 Journal Article
%T 微通道板SiO2防离子反馈膜技术研究
%A 李野
%A 姜德龙
%A 向嵘
%A 付申成
%A 王国政
%A 吴奎
%A 王新
%A 端木庆铎
%A 富丽晨
%A 田景全
%J 电子学报
%P 2400-2404
%D 2008
%X 本文利用射频磁控溅射方法,在微通道板输入面上成功地制备出二氧化硅防离子反馈膜.通过对二氧化硅防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出了特性曲线.利用蒙特卡罗模拟方法对二氧化硅和三氧化二铝两种防离子反馈膜的电子透过和离子阻止能力进行了分析和比较,得出了二氧化硅薄膜比三氧化二铝薄膜对电子的透过特性稍好,而后者比前者对离子的阻止能力较优越的结论.
%K 微通道板
%K 二氧化硅
%K 防离子反馈膜
%K 蒙特卡罗模拟
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4086.shtml