%0 Journal Article
%T 基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)
%A 张紫辰
%A 董恺琛
%A 张益源
%A 王建中
%A 赵嘉昊
%A 尤政
%J 电子学报
%P 2095-2109
%D 2015
%R 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.032
%X 基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",SmartDust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点,并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案.
%K MEMS(microelectromechanicalsystems)
%K 智能灰尘
%K 无线通信
%K 复合能源
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract9206.shtml