%0 Journal Article
%T 亚100纳米级标准单元的可制造性设计
%A 张培勇
%A 严晓浪
%A 史峥
%A 高根生
%A 马
%A 陈晔
%J 电子学报
%P 304-307
%D 2005
%X 本文介绍了亚100纳米工艺可制造性验证的一组工艺仿真和错误定位技术,制定了标准单元可制造性设计(DFM,DesignForManufacturability)的流程,重点讨论了在亚100纳米工艺条件下标准单元设计中遇到的一些典型可制造性问题,提出了相应的新设计规则和解决方案.依靠以上DFM技术方法,完成了实际90nm工艺标准单元可制造性设计工作.
%K 标准单元
%K 可制造性设计
%K 分辨率增强技术
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract2858.shtml