%0 Journal Article
%T 小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究
%A 廖斌
%A 周蓓
%A 曹焕丽
%A 朱守正
%J 电子学报
%P 1860-1864
%D 2009
%X 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
%K 平面螺旋微带
%K 小功率电感耦合微波等离子体源
%K 谐振特性
%K 气体放电
%K S参数
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract6104.shtml