%0 Journal Article
%T Ni-Cr桥膜换能元的制备
%A 解瑞珍
%A 任小明
%A 王可暄
%A 薛艳
%A 彭志明
%A 卢斌
%J 含能材料
%D 2011
%R 10.3969/j.issn.1006-9941.2011.05.023
%X 为了制作出阻值一致性好，发火电压低的金属桥膜换能元，对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索，并对制作的换能元参数进行了测试。结果显示随着溅射功率的减小，薄膜的沉积速率减小，成膜致密性提高；在一定范围内，刻蚀液中高氯酸所占的比例越大，刻蚀用时越短。制作的Ni-Cr薄膜换能元电阻的一致性较好，在47μF电容情况下发火电压均值为6.67V。
%K 物理化学
%K 火工品
%K Ni-Cr薄膜
%K 溅射
%K 刻蚀
%K 换能元
%K 发火电压
%U http://www.energetic-materials.org.cn/hncl/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=2010226&flag=1