%0 Journal Article
%T MEMS用含能薄膜研究现状及进展
%A 王述剑
%A 彭泓铮
%A 张文超
%A 马立远
%J 含能材料
%D 2012
%R 10.3969/j.issn.1006-9941.2012.02.021
%X 在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上，认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems,MEMS)器件制备技术具有良好的兼容性，在此基础上阐述了上述三种薄膜材料的制备方法及输出特性，认为MEMS火工装置为火工技术的发展提供了一个重要的研究方向。
%K 材料科学
%K 含能材料
%K 微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems
%K MEMS)
%K 火工品
%U http://www.energetic-materials.org.cn/hncl/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=2011045&flag=1