%0 Journal Article %T PTFE/Al反应多层膜的制备及力学性能 %A 蒋小军 %A 王军 %A 沈金朋 %A 李瑞 %A 杨光成 %A 黄辉 %J 含能材料 %D 2014 %R 10.3969/j.issn.1006-9941.2014.03.017 %X 以铝(Al)为可燃物质,聚四氟乙烯(PTFE)为氧化剂,利用射频磁控溅射法制备了不同厚度,交替沉积的PTFE/Al反应多层膜。采用原子力显微镜(AFM)、X-射线衍射仪(XRD)研究了溅射功率对薄膜表面形貌的影响规律,得到了PTFE/Al反应多层膜适宜的制备工艺,利用纳米压痕仪研究了PTFE/Al反应多层膜的力学性能。结果表明,当射频溅射功率分别为50W和150W时,制得的PTFE薄膜和Al薄膜的平均粗糙度与均方根粗糙度均较低。当PTFE/Al反应多层膜总厚度约为300nm时,与相同厚度的纯PTFE膜和纯Al膜相比,PTFE/Al反应多层膜具有较高的硬度和弹性模量,分别为5.8GPa和120.0GPa。 %K 物理化学 %K 聚四氟乙烯/铝(PTFE/Al) %K 纳米反应多层膜 %K 磁控溅射 %K 力学性能 %U http://www.energetic-materials.org.cn/hncl/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=2013272&flag=1