%0 Journal Article
%T MEMS型水听器的自噪声分析
%A 方尔正
%A 洪连进
%A 杨德森
%J 哈尔滨工程大学学报
%D 2014
%R １０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００６？７０４３．２０１３０４０１８
%X 针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象，以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论,给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真,得出了影响传感器自噪声的主要因素，给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械？？Q？？值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比，仿真分析结果表明，工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务，用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。
%K 水听器
%K 微机械系统
%K 自噪声
%K 噪声测量
%U http://heuxb.hrbeu.edu.cn/oa/darticle.aspx?type=view&id=20140304