%0 Journal Article
%T 玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究
%A 张广英
%A 吴爱民
%A 秦福文
%A 姜辛
%J 哈尔滨工程大学学报
%D 2009
%R 10.3969/j.issn.1006-7043.2009.11.023
%X 为了改善玻璃衬底上制备的薄膜太阳电池的转换效率,采用高纯氮气作为等离子体气源,以质量分数为5%的SiH_4(Ar稀释)作为前驱气源,利用电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃衬底上低温制备了氮化硅薄膜;利用各种测试设备分析了薄膜的成分、光学性能和表面形貌.结果表明:实验制备的非晶薄膜含氢量较低;薄膜的折射率随着衬底温度和微波功率的增加而增加.在衬底温度为350℃、微波功率为650 W时,薄膜的折射率在2.0左右,平均粗糙度为1.45 nm,还说明薄膜具有良好的光学性能和较高的表面质量.在此条件下,薄膜的沉积速率达到10.7 nm/min,表明本实验能在较高的沉积速率下制备均匀、平整、优质的SiN薄膜.
%K 氮化硅 ECR-PECVD 减反射膜 低温 silicon nitride ECR-PECVD antireflection coating low temperature
%U http://heuxb.hrbeu.edu.cn/oa/darticle.aspx?type=view&id=20091123