%0 Journal Article
%T InGaAs固体微光器件研究进展
%A 史衍丽
%A 胡锐
%A 张卫锋
%A 冯云祥
%A 邓功荣
%A 褚祝军
%A 李燕红
%A 郭骞
%A 陆强
%J 红外技术
%P 81-88
%D 2014
%R 10.11846/j.issn.1001_8891.201402001
%X InGaAs器件具有光谱响应宽、量子效率高、响应速度快、数字化读出、高温工作、可靠性好以及寿命长等优点，符合新一代微光器件的发展需求，在国际上成为固体微光器件的一种新选择，获得了重要的发展和应用。文章就InGaAs固体微光器件材料属性、器件性能以及成像特点等几方面进行了详细分析，介绍了当前InGaAs器件的发展趋势，以及研制320×256InGaAs阵列的最新进展。研究结果表明InGaAs材料生长及器件工艺具有较好的可控性和稳定性，为实现高性能、实用化的InGaAs固体微光器件提供了技术支撑。
%K InGaAs
%K 固体微光器件
%K 量子效率
%K 高温器件
%K 雪崩二极管
%U http://hwjs.nvir.cn/oa/DArticle.aspx?type=view&id=20140201