%0 Journal Article
%T 基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制
%A 付秀华
%A 杨金也
%A 刘冬梅
%A 张静
%A 寇洋
%J 红外与激光工程
%P 3889-3893
%D 2014
%X 随着现代军事空间技术的快速发展,对红外探测器的要求越来越高。同时,对红外光学元件的要求也越来越苛刻。主要研究了硫化锌(ZnS)基底表面减反与保护膜的制备技术,采用介质膜与硬膜复合方法,通过对不同材料的对比分析,最终选取碳化锗(Ge1-xCx)材料作为介质膜与DLC类金刚石保护膜的过渡层。利用电子束与离子源辅助沉积技术制备介质膜;磁控溅射技术制备过渡层碳化锗;化学气相沉积技术制备DLC类金刚石保护膜,解决了介质膜与类金刚石保护膜应力匹配的问题,并通过对多种沉积工艺的整合,得到了一套稳定的工艺制备流程。最终在硫化锌基底上制备出的减反射与保护膜平均透过率达到92%,硬度符合要求。
%K 薄膜
%K 减反膜
%K 类金刚石保护膜
%K 工艺衔接
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2014/V43/I12/3889