%0 Journal Article
%T 锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究
%A 周炜
%A 欧阳程
%A 吴敬
%A 高艳卿
%A 黄志明
%J 红外与激光工程
%P 1073-1079
%D 2014
%X 报道了锰钴镍铜氧薄膜（Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4，MCNC，x=0，0.08，0.16，0.24）的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例，制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明，对于一定厚度及尺寸的薄膜器件，铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声，弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83×107cm·Hz1/2W-1，相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外，对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2014/V43/I4/1073