%0 Journal Article
%T 毫米级氟化钙盘腔的加工与测试
%A 卢晓云
%A 薛晨阳
%A 王永华
%A 郑华
%A 杜建功
%A 张婷
%A 闫树斌
%A 唐军
%J 红外与激光工程
%P 3049-3054
%D 2015
%X 回音壁模式(WhisperingGalleryMode,WGM)的光学谐振腔作为光学研究的重要工具具有广泛的应用前景。以超纯单晶氟化钙为材料加工了直径为5mm,厚度为1mm的CaF2盘型腔,并用化学机械抛光法对其进行了光学抛光,得到了粗糙度为纳米级别的CaF2盘型腔。搭建盘腔与锥形光纤的耦合测试平台测试所加工盘型腔的光学性能,测得在波长为1550nm时所加工的盘型腔的品质因数为2.1×106。对CaF2盘型腔损耗机制进行了理论分析,提出了提高CaF2盘型腔品质因数的方法。
%K 光学谐振腔
%K CaF2盘型腔
%K 光学抛光
%K 粗糙度
%K 品质因数
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2015/V44/I10/3049