%0 Journal Article
%T 光学薄膜参数测量方法研究
%A 李凯朋
%A 王多书
%A 李晨
%A 王济州
%A 董茂进
%A 张玲
%J 红外与激光工程
%P 1048-1052
%D 2015
%X 为了研准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用.论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法.该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数.最后设计TiO2、SiO2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-TiO2,L-SiO2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率准确度、稳定性等.
%K 光学薄膜
%K 光学薄膜参数
%K 包络线法
%K 全光谱拟合反演法
%K 包络线-全光谱拟合反演法
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2015/V44/I3/1048