%0 Journal Article %T 光纤尾纤波分复用滤光膜的研制 %A 高晓丹 %J 红外与激光工程 %P 955-958 %D 2015 %X 根据光纤通信无源器件对光学薄膜的特殊需求,要求在光纤尾纤上镀制较复杂的波分复用滤光膜,针对光纤镀膜所存在的难点问题,利用TFCalc膜系设计软件采用解析法设计出一个初始的规整膜系,再结合梯度优化法在该规整膜系上有选择性的局部优化,并考虑镀膜设备所允许的膜层灵敏度,评估其鲁棒性和可镀制性,从而设计出满足光谱特性要求的滤光膜膜系.然后通过对德国莱宝APS1104型镀膜机进行内部结构改造并选择合适的冷镀工艺,最终采用离子源辅助沉积对所设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能优良的光纤尾纤波分复用滤光膜. %K 波分复用滤光膜 %K 光纤尾纤 %K 膜系 %K 镀制工艺 %U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2015/V44/I3/955