%0 Journal Article %T 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 %A 张宇 %A 金春水 %A 马冬梅 %A 王丽萍 %J 红外与激光工程 %P 254-259 %D 2015 %X 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6um,相干长度为1cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5um的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。 %K 高精度检测 %K 光纤相移点衍射干涉仪 %K 光学系统波像差 %K 激光光源 %K 光纤 %U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2015/V44/I1/254