%0 Journal Article
%T 利用MATLAB进行焦平面探测器的In柱高度自动统计
%A 华桦
%A 何凯
%A 周松敏
%A 胡晓宁
%J 红外与激光工程
%P 2148-2151
%D 2014
%X In柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺，In柱高度是评价In柱制备工艺水平的基本指标。通常的In柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法，此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面，另一方面由于In柱表面形貌的微观特性，人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确。提出了一种更合理可行的In柱高度统计方法，首先使用激光共聚焦显微镜对In柱表面形貌进行扫描，再利用MATLAB软件对扫描数据进行分析以统计In柱高度，分析时考虑In柱表面微观形貌对In柱高度的影响。利用此方法对16×16面阵的红外焦平面器件读出电路进行了In柱高度统计，统计结果优于随机采样人工显微镜观测法。为评价In柱制备工艺水平提供了更客观准确的In柱高度数据。
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2014/V43/I7/2148