%0 Journal Article
%T ZnO薄膜在微光像增强器中的潜在应用
%A 王新
%A 孙瑶
%A 李野
%A 端木庆铎
%J 红外与激光工程
%P 151-154
%D 2014
%X ZnO薄膜是一种新型的宽带隙透明氧化物薄膜材料，具有优良的物理和化学特性。在微光像增强器中具有多方面的潜在应用。通过对ZnO材料晶格参数等的研究，发现可以作为制备高质量GaN紫外光电阴极的缓冲层。通过对ZnO能带的研究，发现ZnO本身还可以独立的作为负电子亲和势光电阴极材料，一旦p型ZnO制备获得成功，将更有利于形成负电子亲和势光电阴极。此外，采用蒙特卡罗模拟的方法发现ZnO薄膜比传统的Al2O3防离子反馈膜对碳等正离子具有更强的阻挡作用，有可能取代Al2O3薄膜用于制备三代微光器件防离子反馈膜。ZnO薄膜还具有较高的二次电子发射系数和适合的电阻率，可以用来制备Si微通道板打拿极。
%U http://irla.csoe.org.cn/CN/Y2014/V43/I1/151