%0 Journal Article
%T GaAlAs薄层组份及其纵向分布的电调制光谱测量
%J 红外与毫米波学报
%D 1986
%X 本文报道了用电调制反射光谱法测量GaA1As的能隙与组份的依赖关系,以及外延薄层和异质结界面处组份的纵向分布。利用样品在紫外区的吸收很大、透入深度较小的特点,结合阳极氧化和化学腐蚀剥层技术,测量了薄层和异质结固溶体样品组份的纵向分布。
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=198606125&flag=1