%0 Journal Article %T InGaAs量子阱垂直腔面发射激光器 %J 红外与毫米波学报 %D 1996 %X 报道了一种新型的具有InGaAs量子阱结构有源区的垂直腔面发射激光器,采用钨丝作为掩膜,通过两次垂直交叉H^+质子轰击工艺制备器件,初步实现了室温脉冲工作,最低阈值电流达20mA,激射波长为915nm,器件的串联电阻最低达120Ω。 %K InGaAs量子阱面发射激光器 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19960351&flag=1