%0 Journal Article
%T 化学腐蚀对锑化铟表面的影响
%J 红外与毫米波学报
%D 1984
%X 测量与分析表明,锑化铟晶片的表面状况与化学腐蚀密切相关,起因于腐蚀液对表面的择优腐蚀及氧化。讨论了制备高性能器件的合理腐蚀步骤。
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19840235&flag=1