%0 Journal Article %T 9μmp^+—GexSi1—x/p—Si异质结内光电红外探测器 %J 红外与毫米波学报 %D 1994 %X 用分子束外延方法生长了p^+-GexSi1-x/p-Si异质结,并用平面工艺制成了内光电红外探测器,器件截止响应波长达9μm,在52K时,Rv500K=3.3×10^3V/W。 %K 异质结锗硅合金红外探测器 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19940234&flag=1