%0 Journal Article %T 新型薄膜温差电堆红外探测器的研制 %J 红外与毫米波学报 %D 1994 %X 介绍一种新设计的薄膜型温差电堆红外探测器。该器件将吸收层与敏感面分两侧,用TO-5型封装的新结构。采用半导体工艺研制的Ф1型样品,其结集成度达22个/cm^2,响应率为30~50V/W,弛豫时间为70~120ms,光谱响应范围从紫外到远红外可调(由窗口材料选定)。 %K 温差电堆弛豫时间红外探测器 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19940236&flag=1