%0 Journal Article %T 9μmp~+-Ge_xSi_(1-x)/p-Si异质结内光电红外探测器 %J 红外与毫米波学报 %D 1994 %X 用分子束外延方法生长了p+-GexSi1-x/p-Si异质结,并用平面工艺制成了内光电红外探测器,器件截止响应波长达9μm,在52K时,Rv500K=3.3×103V/W. %K 异质结 %K 锗硅合金 %K 红外探测器 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19940222&flag=1