%0 Journal Article
%T 唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用
%A 唐彬
%A 孙远程
%A 廖青君
%A 张荣君
%A 樊华
%A 王子仪
%A 王松有
%A 许骥平
%A 郑玉祥
%A 陈良尧
%A 魏彦锋
%J 红外与毫米波学报
%D 2015
%X 利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时，薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性.不同色散模型的选取也会对拟合结果产生明显的影响，引起较大误差.介绍了唯一性检测在椭偏拟合中的实现方法.并以二氧化钛样品为例，利用唯一性检测对比了不同色散模型、不同厚度、不同测量波段、不同入射角度时的唯一性检测结果.结果表明，唯一性检测能够有效标定出椭偏测量和拟合过程中所产生的误差，同时能够对不同色散模型进行量化对比，提升拟合精度
%K 椭圆偏振光谱 唯一性检测 薄膜 二氧化钛
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=140353&flag=1