%0 Journal Article %T 有效跨导为1052mS/mm的高性能InP基In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47AsHEMTs %A 钟英辉 %A 王显泰 %A 苏永波 %A 曹玉雄 %A 张玉明 %A 刘新宇 %A 金智 %J 红外与毫米波学报 %D 2013 %X 成功研制了栅长为0.15μm、栅宽为2×50μm、源漏间距为2μm的InP基In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As高电子迁移率器件.室温下,当器件VDS为1.7V、VGS为0.1V时,其有效跨导达到了1052mS/mm.传输线方法(TLM)测试显示器件的接触电阻为0.032Ω·mm,器件欧姆接触电阻率为1.03×10-7Ω·cm-2.正是良好的欧姆接触及其短的源漏间距减小了源电阻,进而使得有效跨导比较大.器件有比较好的射频特性.从100MHz到40GHz,S参数外推出来的fT和fmax分别为151GHz和303GHz.所报道的HEMT器件非常适合毫米波段集成电路的研制. %K 高电子迁移率器件 %K 栅长 %K 栅槽 %K InP %K InAlAs/InGaAs %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=120087&flag=1