%0 Journal Article
%T 硅中微体缺陷激光测试技术的理论与实验研究
%J 红外与毫米波学报
%D 1997
%X 提出了一种基于广义伦兹－米氏理论（ＧｅｎｅｒａｌｉｚｅｄＬｏｒｅｎｚ＆ＭｉｅＴｈｅｏｒｙ）的硅中μｍ／ｎｍ级体缺陷的激光无损检测新途径，叙述了有关的理论基础，进行了系统的计算机仿真与特征提取的研究，实现了系统的模拟实验，验证了理论的正确性及方案的可行性。
%K 广义洛伦兹－米氏散射理论
%K 硅
%K 激光
%K 无损检测
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19970334&flag=1