%0 Journal Article
%T 亚波长浮雕结构的红外抗反射研究
%J 红外与毫米波学报
%D 2000
%X 基于等效媒质理论，对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究。给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法。提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念。利用离子束刻蚀工艺技术，在Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案。测试结果表明，这种表面结构像单层抗反射膜一样，具有很好的增透效果，表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率，而刻蚀深度则相当于镀层的1／4波长厚度。
%K 抗反射亚波长结构二元光学等效媒质理论离子束刻蚀技术浮雕等效折射率电镜分析红外理论
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200006117&flag=1