%0 Journal Article %T GaAs和AlGaAsMBE外延生长动力学研究 %J 红外与毫米波学报 %D 2000 %X 研究了在GaAs(001)衬底上外延生长GaAs、AlGaAs材料过程中反射高能电子衍射(RHEED)的各级条纹及其强度随生长过程的变化。通过对各级条纹强度振荡周期和位相的分析,应用二维成核层状生长模型解释了实验结果:生长表面形貌的周期性变化导致了RHEED各级条纹及其强度的周期性变化。 %K 分子束外延 %K 砷化镓 %K 半导体 %K AlGaAs %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000120&flag=1