%0 Journal Article
%T 质子注入和快速退火对GaAs／AlGaAs量子阱红外探测器的影响
%A 李娜
%J 红外与毫米波学报
%D 2000
%X 利用质子注入和快速退火技术改变GaAs/AlGaAs量子阱能级分布,使量子阱红外探测器的光电特性发生变化,在较大地移动了探测波长的同时,探测器的响应率、探测率以及暗电流特性也发生相应变化.在质子注入剂量为2.5?10
%K 质子注入快速退火量子阱红外探测器
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20000110&flag=1