%0 Journal Article
%T 256×256Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究
%J 红外与毫米波学报
%D 2001
%X 基于标量衍射理论设计了8位相菲涅尔衍射微透镜阵列.利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵(256×256)PtSi红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品(单元面积为30μm×40μm).测试结果表明,单片集成微透镜的红外焦平面阵列样品的信噪比提高了2.0倍.
%K PtSi红外焦平面阵列微透镜阵列单片集成技术标量衍射信噪比
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200105110&flag=1