%0 Journal Article
%T 基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究
%J 红外与毫米波学报
%D 2001
%X 用微电子工艺制备了VO
%K 测辐射热探测器探测率黑体响应率噪声电压VO2薄膜非致冷红外探测器微电子工艺
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20010240&flag=1