%0 Journal Article %T 化学溶液分解法制备LaNiO3薄膜的研究 %J 红外与毫米波学报 %D 2003 %X 采用化学溶液分解法直接在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,研究了不同热处理气氛(空气和氧气)对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅(PZT)薄膜的影响.结果发现二种气氛得到的LaNiO3薄膜的电阻率相差较大,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的1/2.对LaNiO3薄膜的导电机制进行了讨论. %K 化学溶液分解法镍酸镧薄膜锆钛酸铅电阻率CSD退火气氛光电材料 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030460&flag=1