%0 Journal Article %T InAs/GaSb超晶格中波焦平面材料的分子束外延技术 %A 徐庆庆 %A 陈建新 %A 周易 %A 李天兴 %A 吕翔 %A 何力 %J 红外与毫米波学报 %D 2011 %X 报道了InAs/GaSb超晶格中波材料的分子束外延生长技术研究.通过改变GaSb衬底上分子束外延InAs/GaSb超晶格材料的衬底温度,以及界面的优化等,改善超晶格材料的表面形貌和晶格失配,获得了晶格失配Δa/a=1.5?10-4,原子级平整表面的InAs/GaSb超晶格材料,材料77K截止波长为4.87μm. %K InAs/GaSb %K 超晶格 %K 分子束外延 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=100750&flag=1