%0 Journal Article
%T 多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析
%A 沈川
%A 顾仁杰
%A 陈路
%A 何力
%J 红外与毫米波学报
%D 2013
%X 前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用.
%K 碲镉汞
%K 碲化镉钝化层
%K 热退火
%K 位错
%K 应力
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=120001&flag=1