%0 Journal Article %T 多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析 %A 沈川 %A 顾仁杰 %A 陈路 %A 何力 %J 红外与毫米波学报 %D 2013 %X 前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用. %K 碲镉汞 %K 碲化镉钝化层 %K 热退火 %K 位错 %K 应力 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=120001&flag=1