%0 Journal Article %T 低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性 %A 朱燕艳 %A 徐闰 %A 方泽波 %J 红外与毫米波学报 %D 2014 %X 用磁控溅射的方法在透明导电氧化物衬底上制备了CdS薄膜,制备时的衬底温度为30~200℃.X射线衍射测试结果表明在这一条件下制备的CdS薄膜是六角纤锌矿的多晶结构.扫描电子显微镜结果显示薄膜具有较好的晶体质量,这一结论也和拉曼光谱、紫外-可见吸收光谱、光致发光光谱的结果一致.拉曼光谱显示CdS薄膜内部的压应力随着制备温度的提高而增大. %K 磁控溅射法 %K 太阳能电池 %U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=120734&flag=1