%0 Journal Article
%T 不同方法及衬底类型对CdS多晶薄膜性能的影响
%A 丛家铭
%A 潘永强
%A 邬云华
%A 张传军
%A 王善力
%J 红外与毫米波学报
%D 2014
%X 采用化学水浴法和磁控溅射法分别在AZO、FTO、ITO透明导电玻璃衬底上制备了CdS薄膜，利用扫描电镜、XRD以及透射光谱等测试手段，研究了两种制备方法对不同衬底生长CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响.研究结果表明，不同方法制备的CdS薄膜表面形貌均依赖于衬底的类型，水浴法制备的CdS薄膜晶粒度较大，表面相对粗糙.不同方法制备的CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构，溅射法制备的多晶薄膜衍射峰清晰、尖锐，结晶性较好.水浴法制备的CdS薄膜透过率整体低于溅射法，但在短波处优势明显.
%K CdS薄膜
%K 磁控溅射
%K 化学水浴
%K TCO
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=130367&flag=1