%0 Journal Article
%T ITO衬底上LiTaO3薄膜的制备与介电特性
%J 红外与毫米波学报
%D 2007
%X 用溶胶凝胶法在ITO衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的晶向、表面形态等作了表征;研究了不同溶剂对LiTaO3溶胶稳定性的影响和不同退火条件对LiTaO3薄膜结晶的影响;利用Al/LiTaO3/ITO结构,测试了薄膜的介电系数和介电损耗.结果表明:每层薄膜都晶化退火比交替使用焦化、结晶退火能生长出质量更好的LiTaO3薄膜;频率1KHz时,介电损耗约0.4,相对介电系数约53.并讨论了介电损耗增大的原因.
%K 钽酸锂薄膜
%K ITO衬底
%K 退火条件
%K 介电特性
%K 膜的制备
%K 介电特性
%K SUBSTRATE
%K THINFILM
%K DIELECTRICPROPERTIES
%K 频率
%K 质量
%K 生长
%K 晶化退火
%K 焦化
%K 使用
%K 结果
%K 介电损耗
%K 介电系数
%K 测试
%K 结构
%K 薄膜结晶
%K 退火条件
%K 影响
%K 稳定性
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20070342&flag=1