%0 Journal Article
%T 紫外激光在微细加工技术中的优势研究
%J 红外与毫米波学报
%D 2008
%X 本文主要涉及紫外激光加工技术.通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高.对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势.
%K 紫外激光
%K 红外激光
%K 红外器件
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200806117&flag=1