%0 Journal Article
%T 低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输线
%J 红外与毫米波学报
%D 2004
%X 在厚膜多孔硅(PS)/氧化多孔硅(OPS)衬底上,结合聚酰亚胺涂层改善表面,研制低损耗、高性能射频(RF)/微波(MW)共平面波导CPW(CoplanarWaveguide).通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜,并对其上的CPW进行分析比较,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近,远小于在2000Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅-氧化硅组合衬底:在033GHz范围,插入损耗小于5dB/1.2cm;3340GHz范围,小于7.5dB/1.2cm.
%K 共平面波导硅衬底厚膜插入损耗传输线CPW高阻硅GH微波射频
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20040588&flag=1