%0 Journal Article
%T 以ZnS为源用化学气相沉积法在硅衬底上生长ZnO纳米颗粒
%J 红外与毫米波学报
%D 2004
%X 首次以ZnS为源，采用化学气相沉积法在抛光的Si单晶片衬底上生长晶态的ZnO纳米颗粒，其形貌、尺寸和密度都与气体流量、衬底温度、生长时间以及有无催化剂等生长条件密切相关．在没有Au催化的条件下，ZnO颗粒呈圆形颗粒，直径多在30-200nm之间，密度为10^4-10^9cm^-2；有Au催化的条件下，ZnO纳米颗粒呈六边形，平均尺寸明显变小，在10—100cm之间，而密度显著提高，为10^8-10^10cm^-2所制备的纳米ZnO颗粒在497nm和376nm附近分别有很强和较弱的光致发光．
%K 化学气相沉积法硫化锌光致发光凝聚态物理氧化锌纳米颗粒
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20040343&flag=1