%0 Journal Article
%T 一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
%J 红外与毫米波学报
%D 2004
%X 提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计.该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其核心部件是一个基于微电子机械技术(MEMS)制作的法布里泊罗(FabryPerot)微腔红外探测器列阵(FPMCIRDA).通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析,得出了可动微镜的最大热机械灵敏度、机械光灵敏度及其温度响应分别为6.47×10-9m/K、1.53×108m-1、2.05×10-4.对系统噪声分析表明:在目前的设计中,系统的噪声等效温差(NETD)为5.1K,而其极限值有望达到58mK.采用体硅MEMS工艺,制作出了50×50的FabryPerot微腔列阵.实验表明,在红外辐射作用下,可动微镜有明显的位移,验证了工作原理
%K 徽电子机械技术法布里-泊罗微腔红外探测器列阵噪声等效温差光读出热成像机械-光灵敏度热-机械灵敏度
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20040230&flag=1