%0 Journal Article %T BPSG膜双极晶体管的抗电离辐照性能研究 %A 吕曼? %A 张小玲? %A 张彦秀? %A 谢雪松? %A 孙江超? %A 王鹏鹏? %A 吕长志 %J 核技术 %P 60203-60203 %D 2013 %R DOI:10.11889/j.0253-3219.2013.hjs.36.060203 %X 对SiO2+BPSG+SiO2钝化结构和SiO2+SiN钝化结构的双极晶体管和JW117集成稳压器进行了60Co的γ辐照和不同温度下退火行为研究。结果表明,覆盖BPSG钝化膜的器件抗辐照性能明显强于SiN钝化膜的器件。BPSG对Na+具有很好的吸收作用,SiO2层中的Na+很大部分被吸收到BPSG膜中,降低了双极晶体管基区的表面复合速率,减少过剩基极电流,这可能是BPSG钝化膜器件抗辐照性能好的主要原因。通过对器件辐照后不同温度下的退火实验,保证了BPSG钝化膜器件辐照后的工作可靠性。 %K BPSG %K 钝化层 %K 电离辐照 %K 退火 %U http://www.j.sinap.ac.cn/hejishu/CN/abstract/abstract19.shtml