%0 Journal Article %T 压电直接驱动式伺服阀 %A 董云峰 %A 曲兴田 %A 沈传亮 %A 董景石 %A 吴博达 %J 吉林大学学报(工学版) %P 678-680 %D 2006 %X 介绍了一种利用压电陶瓷直接驱动的压电伺服阀,其机械结构简单、抗干扰能力强,具有高于传统电磁式伺服阀的频宽和分辨率。应用有限元法分析了柔性铰链的结构特性,对压电叠堆的静、动态特性进行了理论分析,并制造了压电直接驱动式伺服阀样机,进行了静、动态性能测试。测试结果表明:该压电伺服阀可以满足现代精密高速控制系统的需要。 %K 流体传动与控制 %K 压电伺服阀 %K 压电叠堆 %K 柔性铰链 %K 有限元法 %K 流体传动与控制 %K 压电伺服阀 %K 压电叠堆 %K 柔性铰链 %K 有限元法 %U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2006/V36/I05/678