%0 Journal Article
%T 基于显微视觉的宏/微双重驱动微动台的自动标定
%A 于保军
%A 张玮
%A 王红东
%A 杨志刚
%J 吉林大学学报(工学版)
%P 1326-1331
%D 2008
%X 提出了基于压电技术的微操作系统的自动标定方法，采用混合式步进电机直接驱动的宏动平台，实现系统大行程宏动定位，安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台和精密光栅，实现亚微米级的分辨率和定位精度，通过以上两部分实现定位机构的全闭环反馈控制，采用显微视觉反馈获取微动台操作器在图像中的位置信息进行标定。实验结果表明：系统的动态和稳定性能良好，自动标定
%K 仪器仪表技术
%K 宏微双重驱动
%K 压电技术
%K 精密定位
%K 显微视觉
%K 自动标定
%K 仪器仪表技术
%K 宏微双重驱动
%K 压电技术
%K 精密定位
%K 显微视觉
%K 自动标定
%U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2008/V38/I06/1326