%0 Journal Article
%T 基于辐射功率的微热板测温系统设计
%A 漆奇
%A 张彤
%A 刘丽
%A 刘奎学
%A 徐宝琨
%J 吉林大学学报(工学版)
%P 936-939
%D 2008
%X 为了解决微小芯片表面测温的难题，设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率，再结合辐射功率与温度的关系，精确地测出微热板表面50μm×50μm区域内的温度。实验测试结果与利用有限元分析软件Ansys得到的模拟结果基本一致，并且更换不同口径的光纤探头可以满足不同面积的样品的测量要求。
%K 半导体技术
%K 微热板
%K 温度
%K 辐射功率
%K 光功率计
%K 光纤探头
%K 半导体技术
%K 微热板
%K 温度
%K 辐射功率
%K 光功率计
%K 光纤探头
%U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2008/V38/I04/936