%0 Journal Article
%T Al靶中稀土Y含量对薄膜CrAlTiN的影响
%A 刘兆政
%A 刘耀辉
%A 蒋百灵
%A 于思荣
%J 吉林大学学报(工学版)
%P 840-843
%D 2008
%X 研究了Al靶中加入不同含量的稀土Y对CrAlTiN薄膜的影响。应用SEM、EDS、XPS、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明，在Al靶材中加入稀土Y后，不但提高了薄膜的厚度，而且随着稀土Y含量的增加，薄膜的表面相逐渐由CrN、Cr2N向Cr变化，Al的含量也是随着Y含量的增加而增加。CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低，并且随着Y含量的升高而逐渐趋于1500HV。
%K 材料的表面和界面
%K 磁控溅射
%K 稀土Y
%K SEM
%K XPS
%K 材料的表面和界面
%K 磁控溅射
%K 稀土Y
%K SEM
%K XPS
%U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2008/V38/I04/840