%0 Journal Article
%T 双等离子体离子源的工作特性
%A 邱春玲
%A 曾小辉
%A 龙涛
%A 包泽民
%A 王培智
%J 吉林大学学报(工学版)
%P 161-166
%D 2015
%X 针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响，产生的O-离子束亮度不稳定的问题，设计并搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统，以SHRIMPII上的双等离子体离子源为对象，通过实验和仿真模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O-离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定地工作在放电电流大于50mA，气压为110~170mTorr(1Torr=133.322Pa)的条件下;当气压为140mTorr、放电电流为200mA、磁场强度为0.25T时，获得的O-离子束亮度能够达到52.4A/(cm2·sr)。合理控制离子源工作参数，可以增大O-离子束亮度，提高二次离子质谱的横向分辨率和灵敏度。
%K 仪器仪表技术
%K 二次离子质谱
%K 双等离子体离子源
%K 离子光学系统
%K 离子束亮度
%U http://xuebao.jlu.edu.cn/gxb/CN/Y2015/V45/I1/161