%0 Journal Article %T 退火对NiCr薄膜阻值的影响分析 %A 侯玉文 %A 毛陆虹 %A 谢生 %A 陈朝 %A 陈松岩 %J 华侨大学学报(自然科学版) %D 2009 %R 10.11830/ISSN.1000-5013.2009.01.0027 %X ?????????????Si????????NiCr???,???????????????????????NiCr???????.???????????????????????????,?????????NiCr??????????С,?????????????.???????????350???,????е??С???????????????,????????????С,????????????С; ??????450?????5 min??,??????????????,?????????????????????????. %K 镍铬 %K 薄膜电阻 %K 热退火 %K 磁控溅射 %U http://www.hdxb.hqu.edu.cn/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200901006