%0 Journal Article %T CeO2掺杂TiO2催化剂薄膜的制备与表征 %A 郑树凯 %A 潘锋 %A 王金良 %A 郝维昌 %A 张俊英 %A 王天民 %J 材料工程 %P 22-24 %D 2003 %X 以Ar为工作气体,O2为反应气体,利用射频磁控溅射技术成功地在载玻片上沉积了透明TiO2催化剂薄膜。同时利用共溅射技术制备了掺杂CeO2的TiO2催化剂薄膜。采用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、UV-VIS-NIR分光光度计、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了结构和形貌表征。 %K TiO2薄膜 %K CeO2掺杂 %K 共溅射 %U http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2003/V0/I11/22